Plateforme photonique à base de nitrure de silicium pour des applications en télécommunications et en biodétection

COÛT DU PROJET:

1 335 588 $

CONTRIBUTION DE PRIMA:

586 788 $

DÉTAILS DU PROJET:

AEPONYX développe et fabrique des puces optiques en combinant la photonique sur nitrure de silicium (SiN) avec les systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS). Pour bénéficier pleinement du potentiel offert par cette technologie avancée, certains verrous devraient être levés. En particulier, il est crucial de disposer de couches minces de SiN dont l’épaisseur peut aller jusqu’à 1 μm exemptes de fissures, de guides d’onde présentant de très faibles pertes optiques (< 2 dB/m) et d’outils de métrologie pour le suivi de la qualité de ces couches et des dispositifs qui en résultent.

Afin de répondre à de tels défis scientifiques et technologiques, une équipe multidisciplinaire formée de chercheurs provenant d’AEPONYX, de l’INRS, de l’ÉTS et de l’Université de Montréal a été mise sur pied. En plus de permettre le développement d’une plateforme photonique à base de nitrure de silicium de classe mondiale, le projet pavera la voie à de nouvelles applications de cette technologie dans le domaine des biosenseurs et de la génération de rayonnement THz.

Ce projet aidera AEPONYX à se positionner comme l’un des leaders mondiaux dans la fabrication de produits optiques intégrés à base de SiN. Il offrira également aux universitaires et aux membres de l’équipe d’AEPONYX une occasion unique de fournir une contribution majeure à des secteurs d’intérêt stratégique pour le Québec, mais aussi d’intégrer leur projet de recherche dans une stratégie visant à partager les connaissances, les infrastructures et la formation de 3 étudiants au doctorat et 2 stagiaires post-doctoraux.