Procédés de nanofabrication avancés pour le prototypage de dispositifs de photonique intégrée en nitrure de silicium

AEPONYX est une entreprise qui développe et fabrique des puces optiques vouées à l’infonuagique. En combinant la photonique sur silicium avec les systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS), AEPONYX est à bâtir les microcommutateurs optiques les plus abordables, compacts et les moins énergivores. Au cours des trois dernières années, AEPONYX a pu développer sa technologie grâce à une collaboration étroite avec de nombreuses universités québécoises. Ce développement a conduit à jeter les bases d’une plateforme technologique avant-gardiste permettant aujourd’hui de démontrer des prototypes de base à des clients qui confirment de façon significative le potentiel commercial énorme de cette technologie dans des marchés aussi porteurs que les télécommunications mobiles 5G et les réseaux optiques passifs de prochaines générations à large capacité. L’accès à ce marché formidable passe cependant par la résolution de problèmes technologiques fondamentaux associés à l’utilisation de matériaux avancés. Dans ce contexte, le projet impliquant l’INRS et l’UQAM en étroite collaboration avec AEPONYX vise le développement de procédés de nanofabrication avancés pour le prototypage de dispositifs de photonique intégrée en nitrure de silicium, à savoir la lithographie à l’échelle nanométrique et le transfert de motifs par gravure plasma. Ces procédés, compatibles avec les standards de l’industrie de la microélectronique, serviront à améliorer les performances optiques de la plateforme de micro-commutateurs optiques d’AEPONYX et permettront une transition vers des fonderies commerciales à l’horizon de 2021.